System metrologii powierzchni

FRT MicroProf MPR 1250

Fries Research & Technology
Nazwa urządzenia: FRT MicroProf® MPR 1250
FRT MicroProf® MPR 1250 to wysokoprecyzyjny system do pomiaru powierzchni z serii MicroProf® firmy Fries Research & Technology GmbH (FRT). Systemy te są przeznaczone do bezinwazyjnej i bezdotykowej analizy parametrów powierzchni takich jak topografia, chropowatość, grubość warstw i inne.

Cechy FRT MicroProf:
Szczegóły urządzenia:
Model: FRT MicroProf® MPR1250
Numer artykułu: 200 00
Ncjdpfx Aswh Swdjgyeu
Typ sensora: CWL 300 µm
Numer seryjny: 0904001
Zasada pomiaru: sensor punktowy chromatyczno-konfokalny
Źródło światła: lampa halogenowa, światło białe
Rozdzielczość pionowa: do 3 nm
Dokładność pomiaru (Z): 100 nm
Rozdzielczość lateralna (XY): 2,5 µm
Kąt pomiaru względem powierzchni: 90° ±30°
Maks. rozmiar próbki: ok. 310 x 310 x 50 mm

Dane techniczne (wyciąg):
Stół XY:
Typ: kompaktowy stół krzyżowy XY
Zakres przesuwu (obszar pomiaru): 200 x 200 mm
Łożyskowanie: mechaniczne prowadnice poprzeczne rolkowe
Napęd: silnik DC z napędem śrubowym kulowym
System pomiaru pozycji: liniał szklany Heidenhain z punktem referencyjnym
Rozdzielczość systemu pomiarowego: 0,2 µm
Powtarzalność: < ±1 µm
Prostopadłość XY: < 4 µm / 200 mm
Bicie osiowe: < 2 µm / 200 mm
Oś Z (zmotoryzowana):
Typ: prowadnica liniowa
Zakres przesuwu: 50 mm (opcjonalnie 100 mm)
Napęd: silnik krokowy z napędem śrubowym
Bicie boczne: < 2 µm / 50 mm
Manualna regulacja zgrubna (opcjonalnie):
Typ: prowadnica jaskółczy ogon
Zakres regulacji: do 300 mm wysokości próbki

Pomiary:
Minimalny odstęp punktów pomiarowych (XY): 0,6 µm
Rozmiar próbki: około 310 x 310 x 50 mm
Maks. waga próbki: 5 kg (opcjonalnie 10 kg)
Prędkość pomiaru: 1 µm/s do maks. 100 mm/s

System:
Waga całkowita: ok. 275 kg (układ pomiarowy: 225 kg)
Zajmowana powierzchnia układu pomiarowego: ok. 0,9 x 0,8 m
Wymiary sterownika (szer. x gł. x wys.): ok. 0,55 x 0,53 x 0,32 m
Zasilanie (EU/US): 110–240 V, 50–60 Hz, 16 A
Pobór mocy: ok. 300–400 W

Warunki eksploatacji:
Zakres temperatury: 22 °C ±5 °C
Stabilność temperatury: < 0,5 °C
Waga ok. 500 kg

Stan:
Urządzenie jest w bardzo dobrym stanie technicznym i wizualnym.
Wszystkie osie poruszają się precyzyjnie i płynnie.

Zakres dostawy:
System pomiarowy MicroProf® MPR200 00 XY
Jednostka sterująca
Kable przyłączeniowe
(Zastrzegamy możliwość zmian i błędów w danych technicznych!)
Oględziny i test na miejscu możliwe po wcześniejszym uzgodnieniu.
Dalsze pytania chętnie wyjaśnimy telefonicznie.

Ogłoszenie zostało przetłumaczone automatycznie. Błędy w tłumaczeniu są możliwe.