08 Stacja Maseveon + Jednostka odgazowująca LC

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Wstęp:
1. W niniejszym dokumencie opisano wymagania funkcjonalne dotyczące:
1.1. Komora odgazowująca tac LC
1.2. Komora odgazowująca tackę LC jest (komorą próżniową kontrolowaną), w której
Dksdpfx Aajwam Sajcju
tacka aluminiowa zawierająca ciecz LC jest odgazowywana w próżni
środowisko w określonym czasie (tj. uwięzione powietrze zostaje usunięte)
Profil próżniowy;
1.1. Punkty nastawy ciśnienia regulowane w zakresie od 1,103 do 1,10-3 mBar
1.1.1. Zakres pomiaru: 1,103 – 5,10-4
1.2. Możliwość ustawienia punktów czasowych w zakresie od 1 do 600 min na krok
1.2.1. Etap odgazowywania (D) może trwać od kilku minut do kilku dni
1.3. Należy kontrolować tempo ewakuacji i wentylacji
1.4. Cykl ewakuacji (A – D) wykonywany jest automatycznie
1.4.1. Stopień odpowietrzania (E) musi zostać aktywowany ręcznie (przez operatora)
1.5. Typowy profil odgazowania
2. Wnętrze;
2.1. Komora procesowa ze stali nierdzewnej (aluminium) polerowana (wewnątrz)
2.1.1. Szybkość wycieku zostanie omówiona
2.2. Szuflada na tacę LC (adaptacyjna) do łatwego załadunku i rozładunku tacy LC (bez wstrząsów/potrząśnięć)
(ruch dozwolony), patrz rozdział 2 Wymiary tacy LC i załącznik 1
2.3. Tacka LC musi być cały czas wypoziomowana (woda musi być pozioma), aby zapobiec rozlaniu LC
2.4. Komora musi być łatwo/szybko dostępna do czyszczenia i/lub tacy LC
(rozładunek
2.5. Wnętrze komory musi być wypolerowane, aby ułatwić czyszczenie i zapobiec
gromadzenie zanieczyszczeń i/lub wilgoci
2.6.Monitorowanie (okno) możliwości cyklu odgazowania tj. monitorowanie LC
zachowanie powierzchni cieczy w kuwecie LC
2.7.Brak zanieczyszczeń procesu spowodowanych materiałem komory (-produkcyjnym)

Ogłoszenie zostało przetłumaczone automatycznie. Błędy w tłumaczeniu są możliwe.